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中心简介  

      华中科技大学微系统研究中心(武汉光电国家实验室微光机电系统研究部)是2002年在留美博士刘胜教授的倡议下成立的,主要为适应MEMS技术的发展需要,由华中科技大学机械学院联合材料学院、光电学院、电信系以及电子系内从事MEMS研究的相关人员和优势资源组成,集中了机械工程、物理、材料学、微电子、光电、IC设计、计算力学等多学科的研究人才,具有很强的科研实力。
      2005年10月,微系统研究中心参与武汉光电国家实验室建设,组建成立微光机电系统研究部。
      研究中心多年来一直从事IC/MEMS/LED封装设计、模拟、工艺及装备研究。先后承担了众多国家自然科学基金、863项目、省部级攻关项目,开发了低温阳极键合、感应局部加热、真空封装等工艺技术,研制了多台封装工艺与可靠性测试设备(部分已应用于Motorola,Nokia,Samsung,GE等企业的产品开发过程中),并为东风、奇瑞等企业提供了相关研发产品。目前,中心已成为国内知名的MEMS、LED器件与封装研发基地。

 

联系方式:

地址:湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号华中科技大学武汉光电国家实验室F101
邮编:430074

电话:+86 27 87542604
传真:+86 27 87557074
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