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华中科技大学微系统研究中心（武汉光电国家实验室微光机电系统研究部）是2002年在留美博士刘胜教授的倡议下成立的，主要为适应MEMS技术的发展需要，由华中科技大学机械学院联合材料学院、光电学院、电信系以及电子系内从事MEMS研究的相关人员和优势资源组成，集中了机械工程、物理、材料学、微电子、光电、IC设计、计算力学等多学科的研究人才，具有很强的科研实力。
2005年10月，微系统研究中心参与武汉光电国家实验室建设，组建成立微光机电系统研究部。
研究中心多年来一直从事IC/MEMS/LED封装设计、模拟、工艺及装备研究。先后承担了众多国家自然科学基金、863项目、省部级攻关项目，开发了低温阳极键合、感应局部加热、真空封装等工艺技术，研制了多台封装工艺与可靠性测试设备（部分已应用于Motorola，Nokia，Samsung，GE等企业的产品开发过程中），并为东风、奇瑞等企业提供了相关研发产品。目前，中心已成为国内知名的MEMS、LED器件与封装研发基地。
联系方式：
地址：湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号华中科技大学武汉光电国家实验室F101
邮编：430074
电话：+86 27 87542604
传真：+86 27 87557074
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